等离子体镀膜设备
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它是世界第一异质结太阳电池大厂唯一选用RPD设备,高达80%以上铟解离率,成就高质量的透明导电膜(TCO);镀膜过程低于30eV离子轰击,不损伤非晶硅膜,保持良好接口特性;高载子迁移率与低载子浓度,确保优异导电性与高长波长透光率;异质结厂商长期量产验证,采用RPD制备的电池效率比其他设备多0.4%。
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